离子束加工的四种工作方式

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(1)【◆题库问题◆】:[问答题] 离子束加工的四种工作方式

【◆参考答案◆】:
1、离子束溅射去除加工,即将被加速的离子聚焦成细束,射到被加工表面上。被加工表面受"轰击"后,打出原子或分子,实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工,即用加速的离子从靶材上打出原子或分子,并将这些原子或分子附着到工件上,形成"镀膜"。又被称为"干式镀"
3、离子束溅射注入加工,即用高能离子(数十万KeV)轰击工件表面,离子打入工件表层,其电荷被中和,并留在工件中(置换原子或填隙原子),从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

(2)【◆题库问题◆】:[问答题] 离子束加工的四种工作方式

【◆参考答案◆】:
1、离子束溅射去除加工,即将被加速的离子聚焦成细束,射到被加工表面上。被加工表面受"轰击"后,打出原子或分子,实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工,即用加速的离子从靶材上打出原子或分子,并将这些原子或分子附着到工件上,形成"镀膜"。又被称为"干式镀"
3、离子束溅射注入加工,即用高能离子(数十万KeV)轰击工件表面,离子打入工件表层,其电荷被中和,并留在工件中(置换原子或填隙原子),从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

(3)【◆题库问题◆】:[问答题] 离子束加工的四种工作方式

【◆参考答案◆】:
1、离子束溅射去除加工,即将被加速的离子聚焦成细束,射到被加工表面上。被加工表面受"轰击"后,打出原子或分子,实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工,即用加速的离子从靶材上打出原子或分子,并将这些原子或分子附着到工件上,形成"镀膜"。又被称为"干式镀"
3、离子束溅射注入加工,即用高能离子(数十万KeV)轰击工件表面,离子打入工件表层,其电荷被中和,并留在工件中(置换原子或填隙原子),从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

(4)【◆题库问题◆】:[问答题] 离子束加工的四种工作方式

【◆参考答案◆】:
1、离子束溅射去除加工,即将被加速的离子聚焦成细束,射到被加工表面上。被加工表面受"轰击"后,打出原子或分子,实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工,即用加速的离子从靶材上打出原子或分子,并将这些原子或分子附着到工件上,形成"镀膜"。又被称为"干式镀"
3、离子束溅射注入加工,即用高能离子(数十万KeV)轰击工件表面,离子打入工件表层,其电荷被中和,并留在工件中(置换原子或填隙原子),从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

(5)【◆题库问题◆】:[问答题] 离子束加工的四种工作方式

【◆参考答案◆】:
1、离子束溅射去除加工,即将被加速的离子聚焦成细束,射到被加工表面上。被加工表面受"轰击"后,打出原子或分子,实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工,即用加速的离子从靶材上打出原子或分子,并将这些原子或分子附着到工件上,形成"镀膜"。又被称为"干式镀"
3、离子束溅射注入加工,即用高能离子(数十万KeV)轰击工件表面,离子打入工件表层,其电荷被中和,并留在工件中(置换原子或填隙原子),从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

(6)【◆题库问题◆】:[问答题] 离子束加工的四种工作方式

【◆参考答案◆】:
1、离子束溅射去除加工,即将被加速的离子聚焦成细束,射到被加工表面上。被加工表面受"轰击"后,打出原子或分子,实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工,即用加速的离子从靶材上打出原子或分子,并将这些原子或分子附着到工件上,形成"镀膜"。又被称为"干式镀"
3、离子束溅射注入加工,即用高能离子(数十万KeV)轰击工件表面,离子打入工件表层,其电荷被中和,并留在工件中(置换原子或填隙原子),从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

(7)【◆题库问题◆】:[问答题] 离子束加工的四种工作方式

【◆参考答案◆】:
1、离子束溅射去除加工,即将被加速的离子聚焦成细束,射到被加工表面上。被加工表面受"轰击"后,打出原子或分子,实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工,即用加速的离子从靶材上打出原子或分子,并将这些原子或分子附着到工件上,形成"镀膜"。又被称为"干式镀"
3、离子束溅射注入加工,即用高能离子(数十万KeV)轰击工件表面,离子打入工件表层,其电荷被中和,并留在工件中(置换原子或填隙原子),从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

(8)【◆题库问题◆】:[问答题] 离子束加工的四种工作方式

【◆参考答案◆】:
1、离子束溅射去除加工,即将被加速的离子聚焦成细束,射到被加工表面上。被加工表面受"轰击"后,打出原子或分子,实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工,即用加速的离子从靶材上打出原子或分子,并将这些原子或分子附着到工件上,形成"镀膜"。又被称为"干式镀"
3、离子束溅射注入加工,即用高能离子(数十万KeV)轰击工件表面,离子打入工件表层,其电荷被中和,并留在工件中(置换原子或填隙原子),从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

(9)【◆题库问题◆】:[问答题] 离子束加工的四种工作方式

【◆参考答案◆】:
1、离子束溅射去除加工,即将被加速的离子聚焦成细束,射到被加工表面上。被加工表面受"轰击"后,打出原子或分子,实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工,即用加速的离子从靶材上打出原子或分子,并将这些原子或分子附着到工件上,形成"镀膜"。又被称为"干式镀"
3、离子束溅射注入加工,即用高能离子(数十万KeV)轰击工件表面,离子打入工件表层,其电荷被中和,并留在工件中(置换原子或填隙原子),从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

(10)【◆题库问题◆】:[问答题] 离子束加工的四种工作方式

【◆参考答案◆】:
1、离子束溅射去除加工,即将被加速的离子聚焦成细束,射到被加工表面上。被加工表面受"轰击"后,打出原子或分子,实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工,即用加速的离子从靶材上打出原子或分子,并将这些原子或分子附着到工件上,形成"镀膜"。又被称为"干式镀"
3、离子束溅射注入加工,即用高能离子(数十万KeV)轰击工件表面,离子打入工件表层,其电荷被中和,并留在工件中(置换原子或填隙原子),从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

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