简述电子束加工特点与应用

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(1)【◆题库问题◆】:[问答题] 简述电子束加工特点与应用

【◆参考答案◆】:
1、聚焦直径小,焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工
2、非接触式加工。工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。例如,每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上打50个直径为0.4mm的孔。
5、电子束容易控制,加工过程便于实现自动化。特别是在电子束曝光中,从加工位置找准到加工图形的扫描,都可实现自动化。在电子束打孔和切割时,可以通过电气控制加工异形孔,实现曲面弧形切割等。
6、电子束加工在真空中进行,因而污染少,加工表面不氧化,特别适用于加工易氧化的金属及合金材料,以及纯度要求极高的半导体材料。
7、电子束加工需要一整套专用设备和真空系统,价格较贵,生产应用有一定局限性

(2)【◆题库问题◆】:[问答题] 简述电子束加工特点与应用

【◆参考答案◆】:
1、聚焦直径小,焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工。
2、非接触式加工。工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。例如,每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上打50个直径为0.4mm的孔。
5、电子束容易控制,加工过程便于实现自动化。特别是在电子束曝光中,从加工位置找准到加工图形的扫描,都可实现自动化。在电子束打孔和切割时,可以通过电气控制加工异形孔,实现曲面弧形切割等。
6、电子束加工在真空中进行,因而污染少,加工表面不氧化,特别适用于加工易氧化的金属及合金材料,以及纯度要求极高的半导体材料。
7、电子束加工需要一整套专用设备和真空系统,价格较贵,生产应用有一定局限性

(3)【◆题库问题◆】:[问答题] 简述电子束加工特点与应用

【◆参考答案◆】:
1、聚焦直径小,焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工。
2、非接触式加工。工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。例如,每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上打50个直径为0.4mm的孔。
5、电子束容易控制,加工过程便于实现自动化。特别是在电子束曝光中,从加工位置找准到加工图形的扫描,都可实现自动化。在电子束打孔和切割时,可以通过电气控制加工异形孔,实现曲面弧形切割等。
6、电子束加工在真空中进行,因而污染少,加工表面不氧化,特别适用于加工易氧化的金属及合金材料,以及纯度要求极高的半导体材料。
7、电子束加工需要一整套专用设备和真空系统,价格较贵,生产应用有一定局限性

(4)【◆题库问题◆】:[问答题] 简述电子束加工特点与应用

【◆参考答案◆】:
1、聚焦直径小,焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工。
2、非接触式加工。工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。例如,每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上打50个直径为0.4mm的孔。
5、电子束容易控制,加工过程便于实现自动化。特别是在电子束曝光中,从加工位置找准到加工图形的扫描,都可实现自动化。在电子束打孔和切割时,可以通过电气控制加工异形孔,实现曲面弧形切割等。
6、电子束加工在真空中进行,因而污染少,加工表面不氧化,特别适用于加工易氧化的金属及合金材料,以及纯度要求极高的半导体材料。
7、电子束加工需要一整套专用设备和真空系统,价格较贵,生产应用有一定局限性

(5)【◆题库问题◆】:[问答题] 简述电子束加工特点与应用

【◆参考答案◆】:
1、聚焦直径小,焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工。
2、非接触式加工。工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。例如,每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上打50个直径为0.4mm的孔。
5、电子束容易控制,加工过程便于实现自动化。特别是在电子束曝光中,从加工位置找准到加工图形的扫描,都可实现自动化。在电子束打孔和切割时,可以通过电气控制加工异形孔,实现曲面弧形切割等。
6、电子束加工在真空中进行,因而污染少,加工表面不氧化,特别适用于加工易氧化的金属及合金材料,以及纯度要求极高的半导体材料。
7、电子束加工需要一整套专用设备和真空系统,价格较贵,生产应用有一定局限性

(6)【◆题库问题◆】:[问答题] 简述电子束加工特点与应用

【◆参考答案◆】:
1、聚焦直径小,焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工。
2、非接触式加工。工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。例如,每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上打50个直径为0.4mm的孔。
5、电子束容易控制,加工过程便于实现自动化。特别是在电子束曝光中,从加工位置找准到加工图形的扫描,都可实现自动化。在电子束打孔和切割时,可以通过电气控制加工异形孔,实现曲面弧形切割等。
6、电子束加工在真空中进行,因而污染少,加工表面不氧化,特别适用于加工易氧化的金属及合金材料,以及纯度要求极高的半导体材料。
7、电子束加工需要一整套专用设备和真空系统,价格较贵,生产应用有一定局限性

(7)【◆题库问题◆】:[问答题] 简述电子束加工特点与应用

【◆参考答案◆】:
1、聚焦直径小,焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工。
2、非接触式加工。工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。例如,每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上打50个直径为0.4mm的孔。
5、电子束容易控制,加工过程便于实现自动化。特别是在电子束曝光中,从加工位置找准到加工图形的扫描,都可实现自动化。在电子束打孔和切割时,可以通过电气控制加工异形孔,实现曲面弧形切割等。
6、电子束加工在真空中进行,因而污染少,加工表面不氧化,特别适用于加工易氧化的金属及合金材料,以及纯度要求极高的半导体材料。
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(8)【◆题库问题◆】:[问答题] 简述电子束加工特点与应用

【◆参考答案◆】:
1、聚焦直径小,焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工。
2、非接触式加工。工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。例如,每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上打50个直径为0.4mm的孔。
5、电子束容易控制,加工过程便于实现自动化。特别是在电子束曝光中,从加工位置找准到加工图形的扫描,都可实现自动化。在电子束打孔和切割时,可以通过电气控制加工异形孔,实现曲面弧形切割等。
6、电子束加工在真空中进行,因而污染少,加工表面不氧化,特别适用于加工易氧化的金属及合金材料,以及纯度要求极高的半导体材料。
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(9)【◆题库问题◆】:[问答题] 简述电子束加工特点与应用

【◆参考答案◆】:
1、聚焦直径小,焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工。
2、非接触式加工。工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。例如,每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上打50个直径为0.4mm的孔。
5、电子束容易控制,加工过程便于实现自动化。特别是在电子束曝光中,从加工位置找准到加工图形的扫描,都可实现自动化。在电子束打孔和切割时,可以通过电气控制加工异形孔,实现曲面弧形切割等。
6、电子束加工在真空中进行,因而污染少,加工表面不氧化,特别适用于加工易氧化的金属及合金材料,以及纯度要求极高的半导体材料。
7、电子束加工需要一整套专用设备和真空系统,价格较贵,生产应用有一定局限性

(10)【◆题库问题◆】:[问答题] 简述电子束加工特点与应用

【◆参考答案◆】:
1、聚焦直径小,焦点直径甚至能聚焦到0.1um。可实现精密微细的加工。
2、非接触式加工。工件不受机械力作用,不产生宏现应力和变形。
3、加工材料范围很广,对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
4、电子束的能量密度高,因而加工生产率很高。例如,每秒钟可以在2.5mm厚的钢板上打50个直径为0.4mm的孔。
5、电子束容易控制,加工过程便于实现自动化。特别是在电子束曝光中,从加工位置找准到加工图形的扫描,都可实现自动化。在电子束打孔和切割时,可以通过电气控制加工异形孔,实现曲面弧形切割等。
6、电子束加工在真空中进行,因而污染少,加工表面不氧化,特别适用于加工易氧化的金属及合金材料,以及纯度要求极高的半导体材料。
7、电子束加工需要一整套专用设备和真空系统,价格较贵,生产应用有一定局限性

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